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年度86
類別研究計畫
計畫名稱六自由度磁浮式晶圓載具系統之設計與研製(I)
職稱/擔任之工作主持人
參與人李福星
補助/委託或合作機構 國科會
開始月份1997-08
結束月份1998-07
備註計畫編號NSC87-2212-E211-002

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