年度96
等級SCI
論文名稱Fabrication of the micro nickel/diamond abrasive pellet array lapping tools using the LIGA-like technology
期刊名稱J. Micromechanics and Microengineering
全部作者S. Y. Luo*, T H Yu, Y C Hu
卷號17
期號6
頁次1130-1138
總頁數9
著作人數3
作者型態First AuthorCorresponding Author / First AuthorCorresponding Author
使用語言英文
所屬計畫案NSC 94-2212-E-211-003