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    年度91
    類別研究計畫
    計畫名稱平面超細磨削矽晶片加工之研究(I)
    職稱/擔任之工作主持人
    參與人羅勝益
    補助/委託或合作機構 國科會
    開始月份2002-08
    結束月份2003-07
    備註NSC91-2212-E211-005

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