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年度
90
類別
研究計畫
計畫名稱
半導體製造設備多零件群組預防保養決策
職稱/擔任之工作
共同主持人
參與人
張志平
補助/委託或合作機構
國科會
開始月份
2001-08
結束月份
2002-07
備註
NSC90-2218-E211-006
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