年度94
類別會議論文
等級其他
論文名稱Mechanical Characterization of Thin Films by the Capacitance-Voltage Measurement of Microstructures
會議名稱Proceeding of the International Conference on Advanced Manufacture (ICAM 2005)
會議開始時間2005-11-28
會議結束時間2005-11-30
發表年度2005
全部作者Y. C. Hu, W. H. Gau, and W. H. Tu
作者型態Corresponding Author
使用語言英文