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    年度94
    類別會議論文
    等級其他
    論文名稱The Study of the Design in Micro Modal Actuators Using the Holographic Interferometry
    會議名稱Proceedings of ASME InterPACK’05
    會議地點美國
    主辦單位Aerospace Division
    會議開始時間2005-07-17
    會議結束時間2005-07-22
    發表年度2005
    全部作者W. H. Gau, Y. C. Hu, and Y. Y. Peng
    著作人數3
    作者型態Corresponding Author
    使用語言英文

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