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    年度96
    等級SCI
    論文名稱Fabrication of the micro nickel/diamond abrasive pellet array lapping tools using the LIGA-like technology
    期刊名稱J. Micromechanics and Microengineering
    全部作者S. Y. Luo*, T H Yu, Y C Hu
    卷號17
    期號6
    頁次1130-1138
    總頁數9
    著作人數3
    作者型態First AuthorCorresponding Author / First AuthorCorresponding Author
    使用語言英文
    所屬計畫案NSC 94-2212-E-211-003
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