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    年度86
    類別研究計畫
    計畫名稱電容式半導體加速度計技術之整合研究---子計畫四:半導體加速度計之製程及設備技術研究(II)
    職稱/擔任之工作共同主持人
    參與人林智玲
    補助/委託或合作機構 國科會
    開始月份1996-08
    結束月份1997-07
    備註NSC86-2221-E002-057

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