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    年度94
    類別會議論文
    等級其他
    論文名稱Mechanical Characterization of Thin Films by the Capacitance-Voltage Measurement of Microstructures
    會議名稱Proceeding of the International Conference on Advanced Manufacture (ICAM 2005)
    會議開始時間2005-11-28
    會議結束時間2005-11-30
    發表年度2005
    全部作者Y. C. Hu, W. H. Gau, and W. H. Tu
    作者型態Corresponding Author
    使用語言英文
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