跳到頁面主要內容區
:::
    年度1997
    類別研究計畫
    計畫名稱六自由度磁浮式晶圓載具系統之設計與研製(I)
    職稱/擔任之工作主持人
    參與人李福星
    補助/委託或合作機構 國科會
    開始月份1997-08
    結束月份1998-07
    備註計畫編號NSC87-2212-E211-002
    置頂置頂